先进、无接触、高性能电机驱动技术,保证了良好的动态性能
雷尼绍圆光栅,全闭环控制
AO自适应镜自动调焦,调焦范围±10mm
聚焦X-Y方向调中单元
TRA先进防碰撞系统,意外碰撞,自动停机,自复位精度高
A轴自动刹车系统,防止意外断电,撞击工件
内置H轴随动升降系统,行程±18.5mm
准直,聚焦,电机,高效、直接全闭环冷却水系统
功率等级:3000W
通光孔径:36mm
行程:
- A轴行程 :±135°
- C轴行程:±540°
- H 轴(随动轴)行程:±18.5
保护镜
- 上保护镜:Φ38.1mm * 1.6mm
- 下保护镜:Φ37mm * 7mm
速度
- A、C 单轴最大速度:2 rev/s
加速度
- A、C轴最大加速度:125 rad/s2
- H 轴(随动轴)最大加速度:2g
精度
- A、C 轴分辨率:0.00006°
- A、C轴定位精度:0.005°
- A、C 轴重复定位精度:0.005°
重量:~25.0kg